Ռեակտիվ մագնետրոնային ցրումը հասուն տեխնիկա է՝ բարակ բաղադրյալ շերտը տեղադրելու համար սուբստրատների լայն գամմա որպես վերին շերտ կամ որպես միջանկյալ շերտ բազմաշերտ ծածկույթում: «Բարակ»-ի շրջանակը տատանվում է մի քանի նանոմետրից մինչև մի քանի միկրոմետր:
Ինչու՞ է մագնետրոնը ցատկում:
Մագնետրոնային ցրումը բախման գործընթացն է բախվող մասնիկների և թիրախների միջև… Մագնետրոնային ցրումը մեծացնում է պլազմայի խտությունը՝ ներդնելով մագնիսական դաշտ թիրախ կաթոդի մակերեսին և օգտագործելով սահմանափակումները: մագնիսական դաշտը լիցքավորված մասնիկների վրա՝ բարձրացնելու ցրման արագությունը։
Ի՞նչ է նշանակում ռեակտիվ թրթռում ասելով:
Ռեակտիվ ցողումը պրոցես է, որը թույլ է տալիս միացություններին նստեցնել՝ ռեակտիվ գազ (սովորաբար թթվածին կամ ազոտ) ներմուծելով պլազմա, որը սովորաբար ձևավորվում է իներտ գազով, օրինակ. արգոն (ամենատարածված), քսենոն կամ կրիպտոն:
Ինչպե՞ս է աշխատում մագնետրոնային ցրիչը:
Մագնետրոնային ցատկումը նստեցման տեխնոլոգիա է, որը ներառում է գազային պլազմա, որը ստեղծվում և սահմանափակվում է տեղակայման ենթակա նյութը` «թիրախը» պարունակող տարածության մեջ: … Այս բախումները առաջացնում են էլեկտրաստատիկ վանում, որը «թակում է» էլեկտրոնները ցրող գազի ատոմներից՝ առաջացնելով իոնացում:
Ինչու՞ է ՌԴ-ն ցատկում:
RF կամ ռադիոհաճախականության ցրումը տեխնիկան է, որը ներառում է հոսանքի էլեկտրական պոտենցիալը ռադիոհաճախականություններում վակուումային միջավայրում փոփոխելու համար՝ խուսափելու համար լիցք առաջացնելու որոշակի տեսակների ցայտող թիրախային նյութերի վրա, որը ժամանակի ընթացքում կարող է հանգեցնել պլազմայի մեջ աղեղի, որը կաթիլներ է ցայտում…
